表面化学分析是一种研究材料表面化学性质的方法，可以用于分析材料的成分、结构、形貌等信息。辉光放电质谱法是表面化学分析中常用的一种方法，可以用于分析材料表面的元素和化合物。ISO/TS 15338:2020规定了辉光放电质谱法的操作程序，以保证分析结果的准确性和可重复性。

该标准首先介绍了辉光放电质谱法的基本原理和仪器组成。辉光放电质谱法是一种基于辉光放电的质谱分析方法，可以用于分析材料表面的元素和化合物。该方法需要使用辉光放电装置和质谱仪，通过在样品表面产生辉光放电，将样品表面的元素和化合物转化为离子，并通过质谱仪进行分析。

ISO/TS 15338:2020接着介绍了辉光放电质谱法的操作程序。该标准规定了样品制备、仪器操作、数据处理等方面的内容。样品制备包括样品的选择、制备和处理等方面的内容。仪器操作包括仪器的操作流程、参数设置和校准等方面的内容。数据处理包括数据的获取、处理和分析等方面的内容。

在样品制备方面，ISO/TS 15338:2020规定了样品的选择和制备方法。样品应该选择符合要求的材料，并进行必要的处理，以保证分析结果的准确性和可重复性。在仪器操作方面，该标准规定了仪器的操作流程、参数设置和校准方法。操作流程包括仪器的开机、预热、样品安装、辉光放电、质谱分析等步骤。参数设置包括辉光放电参数和质谱分析参数等方面的内容。校准方法包括质谱仪的校准和辉光放电装置的校准等方面的内容。

在数据处理方面，ISO/TS 15338:2020规定了数据的获取、处理和分析方法。数据获取包括质谱图的获取和数据的记录等方面的内容。数据处理包括质谱图的处理和数据的校正等方面的内容。数据分析包括质谱图的解析和数据的统计分析等方面的内容。

ISO/TS 15338:2020的实施可以提高辉光放电质谱法的分析准确性和可重复性，为表面化学分析提供了一种可靠的分析方法。

相关标准
- ISO 18115-1:2016 表面化学分析——X射线光电子能谱法——第1部分：操作程序
- ISO 18115-2:2016 表面化学分析——X射线光电子能谱法——第2部分：数据处理
- ISO 18116:2015 表面化学分析——扫描电子显微镜/能谱仪联用法——操作程序
- ISO 18117:2015 表面化学分析——扫描电子显微镜/能谱仪联用法——数据处理
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