ISO 21360-2:2020
Vacuum technology — Standard methods for measuring vacuum-pump performance — Part 2: Positive displacement vacuum pumps
发布时间:2020-06-15 实施时间:


真空技术是现代科学技术中的重要分支,广泛应用于半导体、光学、航空航天、医疗等领域。真空泵作为真空技术的核心设备之一,其性能的准确测量对于真空技术的研究和应用具有重要意义。ISO 21360-2:2020标准提供了容积式真空泵性能测量的标准方法,以确保真空泵的性能测量结果具有可比性和准确性。

容积式真空泵是一种常用的真空泵,其工作原理是通过容积变化来实现气体的吸入和排出。该标准主要针对容积式真空泵的两种类型进行性能测量:回转式容积式真空泵和往复式容积式真空泵。标准中规定了测量容积式真空泵的抽气速度、极限压力、泵油温度、功率等性能参数的方法和要求。

在测量容积式真空泵的抽气速度时,标准要求使用标准气体(氦气)进行测量,并在一定的压力范围内进行多次测量,以获得平均值。在测量极限压力时,标准要求在真空泵内部加入标准气体,然后测量气体压力随时间的变化,以确定真空泵的极限压力。在测量泵油温度时,标准要求在真空泵内部加入标准气体,并在一定的时间内进行多次测量,以获得平均值。在测量功率时,标准要求使用功率计进行测量,并在一定的时间内进行多次测量,以获得平均值。

ISO 21360-2:2020标准的实施可以提高真空泵的性能测量准确性和可比性,为真空技术领域的研究和应用提供标准化的方法和依据。同时,该标准还可以促进真空泵制造商和用户之间的交流和合作,推动真空技术的发展和应用。

相关标准
- ISO 21360-1:2020 真空技术——测量真空泵性能的标准方法——第1部分:通用要求
- ISO 21360-3:2020 真空技术——测量真空泵性能的标准方法——第3部分:分子泵
- ISO 21360-4:2020 真空技术——测量真空泵性能的标准方法——第4部分:扩散泵
- ISO 21360-5:2020 真空技术——测量真空泵性能的标准方法——第5部分:离心泵
- ISO 21360-6:2020 真空技术——测量真空泵性能的标准方法——第6部分:涡轮分子泵