真空技术是现代科学和工业领域中不可或缺的一部分，广泛应用于半导体制造、光学仪器、航空航天、化学工业等领域。真空泵是实现真空技术的关键设备之一，其性能的好坏直接影响到真空系统的稳定性和可靠性。因此，对于真空泵性能的测量和评估是非常重要的。

ISO 21360-1:2020是真空技术领域的标准，主要描述了测量真空泵性能的标准方法。该标准适用于各种类型的真空泵，包括机械泵、分子泵、离子泵、扩散泵等。本标准的目的是提供一种标准化的方法，以便在不同的实验室和工业应用中进行真空泵性能的比较和评估。

本标准主要包括以下内容：

1.术语和定义：对于本标准中使用的术语和定义进行了详细的说明，以便读者理解和使用本标准。

2.测量方法：介绍了测量真空泵性能的标准方法，包括测量真空度、泵速、抽气速率等参数的方法。其中，真空度是指在真空系统中的气体压力，通常用帕斯卡（Pa）或托（Torr）表示；泵速是指单位时间内泵出的气体体积，通常用升/秒（l/s）或立方米/小时（m³/h）表示；抽气速率是指单位时间内真空系统中气体的减少量，通常用帕斯卡·升/秒（Pa·l/s）或托·立方米/小时（Torr·m³/h）表示。

3.测量设备：对于测量真空泵性能所需的设备进行了说明，包括真空计、流量计、压力计等。其中，真空计是用于测量真空度的设备，常见的有热阴极离子计、热阴极电离计、毛细管真空计等；流量计是用于测量气体流量的设备，常见的有质量流量计、体积流量计等；压力计是用于测量气体压力的设备，常见的有压力传感器、压力计等。

4.数据处理：对于测量得到的数据进行了处理和分析的方法进行了说明。其中，数据处理包括数据的校正、平滑、滤波等；数据分析包括数据的统计分析、误差分析等。

5.报告要求：对于测量结果的报告要求进行了说明，包括报告的内容、格式等。其中，报告的内容应包括测量条件、测量结果、数据处理和分析结果等；报告的格式应符合国际标准要求。

总之，ISO 21360-1:2020是真空技术领域的重要标准，对于测量真空泵性能具有指导意义，有助于提高真空技术的应用水平和质量。

相关标准
ISO 21360-2:2020 真空技术——测量真空泵性能的标准方法——第2部分：机械泵
ISO 21360-3:2020 真空技术——测量真空泵性能的标准方法——第3部分：分子泵
ISO 21360-4:2020 真空技术——测量真空泵性能的标准方法——第4部分：离子泵
ISO 21360-5:2020 真空技术——测量真空泵性能的标准方法——第5部分：扩散泵
ISO 21361:2020 真空技术——测量真空度的标准方法