ISO 13067:2020标准是一项关于微束分析的标准，主要涉及电子背散射衍射技术的应用。该技术是一种用于研究材料晶体学性质的方法，可以通过测量晶体中的晶粒尺寸来了解材料的微观结构和性质。

该标准规定了使用EBSD技术测量材料中平均晶粒尺寸的方法。EBSD技术是一种通过电子衍射来研究材料晶体学性质的方法，可以在扫描电子显微镜（SEM）中进行。该技术可以提供高分辨率的晶体学信息，包括晶体取向、晶界分布和晶粒尺寸等。

该标准适用于所有晶体材料，包括金属、陶瓷、半导体和聚合物等。在使用EBSD技术进行晶粒尺寸测量时，需要注意一些因素，如样品制备、SEM参数设置和数据处理等。该标准提供了详细的测量方法和步骤，以确保测量结果的准确性和可重复性。

该标准还提供了测量结果的计算方法和报告要求。在计算平均晶粒尺寸时，需要考虑晶体取向和晶界分布等因素。在报告中，需要包括测量条件、样品信息和测量结果等信息。

总之，ISO 13067:2020标准为使用EBSD技术测量材料中平均晶粒尺寸提供了详细的指导和要求，可以帮助研究人员准确地了解材料的微观结构和性质。

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