ISO 16531:2020
Surface chemical analysis — Depth profiling — Methods for ion beam alignment and the associated measurement of current or current density for depth profiling in AES and XPS
发布时间：2020-10-05 实施时间：


表面化学分析是一种用于研究材料表面化学性质的技术。深度剖析是表面化学分析中的一种重要技术，它可以分析材料表面下不同深度处的化学成分和结构。离子束剖析技术是深度剖析中常用的一种方法，它利用离子束轰击样品表面，将样品表面的原子和分子击出，并通过分析击出的原子和分子来确定样品的化学成分和结构。

离子束对准是离子束剖析中的一个关键步骤，它决定了离子束轰击样品表面的位置和角度。离子束对准的准确性和可重复性对深度剖析的精度和可靠性至关重要。ISO 16531:2020标准规定了离子束对准的方法和相关电流或电流密度测量方法，以确保离子束对准的准确性和可重复性。

该标准规定了离子束对准的两种方法：基于样品表面的信号和基于离子束的信号。基于样品表面的信号方法是通过检测样品表面的信号来确定离子束的位置和角度。基于离子束的信号方法是通过检测离子束的信号来确定离子束的位置和角度。该标准还规定了离子束对准的相关电流或电流密度测量方法，以确保离子束对准的准确性和可重复性。

ISO 16531:2020标准适用于使用离子束剖析技术进行深度剖析的分析仪器，如AES和XPS。该标准的实施可以提高深度剖析的精度和可靠性，从而为表面化学分析提供更加准确和可靠的数据。

相关标准
- ISO 18115:2016 表面化学分析-深度剖析-用于XPS深度剖析的离子束对准方法及相关电流或电流密度测量方法
- ISO 18116:2016 表面化学分析-深度剖析-用于AES深度剖析的离子束对准方法及相关电流或电流密度测量方法
- ISO 14606:2015 表面化学分析-深度剖析-用于XPS深度剖析的离子束对准方法及相关电流或电流密度测量方法
- ISO 14607:2015 表面化学分析-深度剖析-用于AES深度剖析的离子束对准方法及相关电流或电流密度测量方法
- ISO 19318:2015 表面化学分析-深度剖析-用于SIMS深度剖析的离子束对准方法及相关电流或电流密度测量方法