辉光放电光谱法（GD-OES）是一种表面化学分析技术，可以用于对各种材料的表面进行化学分析。该技术利用辉光放电产生的等离子体，通过光谱分析来确定样品表面的元素组成和浓度分布。GD-OES具有高分辨率、高灵敏度、非破坏性等优点，被广泛应用于材料科学、化学、电子、半导体等领域。

ISO 14707:2021标准介绍了GD-OES的基本原理、仪器配置、样品制备、分析方法和数据处理等方面的内容。其中，仪器配置包括GD-OES系统的主要组成部分，如辉光放电源、光谱仪、样品台等；样品制备包括样品的选择、制备和处理等；分析方法包括样品的放电条件、光谱扫描范围、分析深度等；数据处理包括光谱数据的处理、元素浓度的计算和分析结果的解释等。

ISO 14707:2021标准还介绍了GD-OES在不同领域的应用，如金属材料的表面分析、聚合物材料的化学组成分析、半导体材料的掺杂浓度分析等。该标准还提供了GD-OES分析结果的解释和评估方法，以及对GD-OES分析结果的不确定度进行评估的方法。

总之，ISO 14707:2021标准是GD-OES技术的使用介绍，为使用GD-OES进行表面化学分析的人员提供了详细的指导和参考。

相关标准
- ISO 18115-1:2016 表面化学分析——X射线光电子能谱法（XPS）——第1部分：使用介绍
- ISO 14606:2016 表面化学分析——时间飞行质谱法（TOF-SIMS）——使用介绍
- ISO 15530-3:2019 表面形貌测量——光学方法——第3部分：使用介绍
- ISO 8502-3:2017 表面清洁度的评定——第3部分：钢表面粗糙度的测量
- ISO 8501-1:2007 表面准备度的评定——第1部分：钢表面清洁度的视觉评定