扫描电子显微镜（SEM）是一种常用的微束分析仪器，广泛应用于材料科学、地质学、生物学等领域。SEM通过扫描样品表面并收集反射电子、散射电子和透射电子等信号，可以获得样品的形貌、元素分布和晶体学信息。然而，SEM的定量测量结果受到多种因素的影响，如SEM的性能、准直和像差等。因此，为了确保SEM的定量测量结果准确可靠，需要进行SEM的确认。

ISO/TS 21383:2021提供了一种方法，以确认SEM是否适合进行定量测量。该标准规定了确认SEM的步骤和要求，包括SEM的性能测试、SEM的准直和像差校正、SEM的图像质量评估、SEM的能量分辨率和线性度测试等。下面将对这些步骤进行详细介绍。

首先，需要对SEM的性能进行测试。这包括SEM的分辨率、信噪比、探测器效率、信号稳定性等方面的测试。这些测试可以通过使用标准样品进行比较测试来完成。例如，可以使用金属线栅或碳纳米管等标准样品进行分辨率测试，使用金属薄膜或碳薄膜等标准样品进行信噪比测试。

其次，需要对SEM进行准直和像差校正。准直和像差是影响SEM图像质量和定量测量结果的重要因素。准直和像差校正可以通过使用标准样品进行比较测试来完成。例如，可以使用金属线栅或碳纳米管等标准样品进行准直测试，使用金属薄膜或碳薄膜等标准样品进行像差校正。

第三步是对SEM的图像质量进行评估。图像质量评估可以通过使用标准样品进行比较测试来完成。例如，可以使用金属线栅或碳纳米管等标准样品进行图像分辨率测试，使用金属薄膜或碳薄膜等标准样品进行图像对比度测试。

第四步是对SEM的能量分辨率和线性度进行测试。能量分辨率和线性度是影响SEM元素分析结果的重要因素。能量分辨率和线性度测试可以通过使用标准样品进行比较测试来完成。例如，可以使用金属线栅或碳纳米管等标准样品进行能量分辨率测试，使用金属薄膜或碳薄膜等标准样品进行线性度测试。

ISO/TS 21383:2021还提供了一些测试方法和评估标准，以确保SEM的定量测量结果准确可靠。例如，该标准规定了SEM的测量不确定度的计算方法和评估标准，以确保SEM的定量测量结果的可靠性。

总之，ISO/TS 21383:2021是一项关于微束分析中扫描电子显微镜的确认标准，旨在提供一种方法，以确认SEM是否适合进行定量测量。该标准规定了确认SEM的步骤和要求，包括SEM的性能测试、SEM的准直和像差校正、SEM的图像质量评估、SEM的能量分辨率和线性度测试等。此外，该标准还提供了一些测试方法和评估标准，以确保SEM的定量测量结果准确可靠。

相关标准
- ISO 14976:2019 微束分析——扫描电子显微镜——图像质量参数的测量
- ISO 22309:2017 微束分析——扫描电子显微镜——能量分辨率和线性度的测量
- ISO 23834:2017 微束分析——扫描电子显微镜——准直测试方法
- ISO 23837:2017 微束分析——扫描电子显微镜——像差校正方法
- ISO 22311:2019 微束分析——扫描电子显微镜——性能参数的测量