电子能损失谱分析技术是一种常用的微束分析技术,可以用于测定样品中元素的化学状态和化学成分。在使用电子能损失谱分析技术时,能量分辨率是一个非常重要的参数。能量分辨率越高,就能够更准确地测定样品中元素的化学状态和化学成分。因此,测定电子能损失谱分析能量分辨率的方法也非常重要。
ISO 23420:2021标准规定了一种测定电子能损失谱分析能量分辨率的方法。该方法基于电子能损失谱的峰宽和半高宽,通过计算得出能量分辨率。该方法适用于使用电子能损失谱分析技术的分析电子显微镜。该标准的目的是为了确保在使用电子能损失谱分析技术时,能够准确测定样品中元素的化学状态和化学成分。
该标准规定了测定电子能损失谱分析能量分辨率的步骤和计算公式。首先,需要选择一个适当的样品,并在分析电子显微镜中进行样品制备和调整。然后,需要进行电子能损失谱的测量,并记录峰宽和半高宽。最后,根据计算公式计算能量分辨率。
该标准还规定了测定电子能损失谱分析能量分辨率的精度和不确定度。为了确保测量结果的准确性和可靠性,需要对测量结果进行统计分析,并计算出不确定度。该标准还提供了一些建议,以帮助用户提高测量结果的准确性和可靠性。
总之,ISO 23420:2021标准规定了一种测定电子能损失谱分析能量分辨率的方法,为使用电子能损失谱分析技术的分析电子显微镜提供了准确测定样品中元素的化学状态和化学成分的方法。
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