ISO 23216:2021
Carbon based films — Determination of optical properties of amorphous carbon films by spectroscopic ellipsometry
发布时间:2021-05-04 实施时间:
碳基薄膜是一种具有广泛应用前景的材料,其具有优异的机械、光学和电学性质。在许多应用中,如太阳能电池、涂层和传感器等领域,了解碳基薄膜的光学性质是非常重要的。ISO 23216:2021标准提供了一种测量非晶碳薄膜光学性质的方法,以便更好地了解其在各种应用中的性能。
该标准要求使用光谱椭偏仪来测量非晶碳薄膜的光学性质。光谱椭偏仪是一种测量材料光学性质的仪器,它可以测量材料的折射率和消光系数。在测量非晶碳薄膜时,需要将样品放置在光谱椭偏仪的样品台上,并使用激光或白光源照射样品。然后,测量样品反射和透射的光的偏振状态,并计算出样品的折射率和消光系数。
该标准还规定了数据处理和结果报告的方法。在数据处理方面,需要使用适当的数学模型来拟合测量数据,并计算出样品的折射率和消光系数。在结果报告方面,需要提供测量数据、拟合曲线和计算结果,并说明测量误差和不确定性。
需要注意的是,该标准仅适用于厚度在10 nm至10 μm之间的非晶碳薄膜。对于其他类型的碳基薄膜,如石墨烯和碳纳米管等,需要使用其他测量方法。
相关标准
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