表面化学分析是一种用于研究材料表面化学成分和结构的技术。次级离子质谱法是表面化学分析中常用的一种方法，它可以通过测量样品表面的次级离子质谱图谱来确定样品的化学成分和结构。在使用SIMS进行表面化学分析时，需要确定相对灵敏度因子，以便将实验数据转换为准确的化学成分。

ISO 18114:2021标准规定了使用离子注入参考材料来确定相对灵敏度因子的方法。该标准要求使用两种不同的离子注入参考材料，一种是单元素参考材料，另一种是多元素参考材料。在实验中，需要将参考材料注入到样品表面，并测量其次级离子质谱图谱。通过比较参考材料和样品的次级离子质谱图谱，可以确定相对灵敏度因子。

该标准还规定了相对灵敏度因子的计算方法。在计算相对灵敏度因子时，需要考虑离子注入参考材料的浓度、注入深度和离子注入的能量等因素。通过使用该标准确定相对灵敏度因子，可以提高SIMS分析的准确性和可靠性。

ISO 18114:2021标准适用于使用SIMS进行表面化学分析的实验室和组织。该标准的实施可以帮助实验室和组织提高SIMS分析的准确性和可靠性，从而更好地满足工业和科学研究的需求。

相关标准
- ISO 18115:2016 表面化学分析——次级离子质谱法——测量元素和分子离子的质量分数
- ISO 18116:2016 表面化学分析——次级离子质谱法——测量元素和分子离子的相对灵敏度因子
- ISO 18117:2016 表面化学分析——次级离子质谱法——测量元素和分子离子的绝对灵敏度因子
- ISO 18118:2016 表面化学分析——次级离子质谱法——测量元素和分子离子的检测限
- ISO 18119:2016 表面化学分析——次级离子质谱法——测量元素和分子离子的线性范围