X射线光电子能谱是一种表面化学分析技术,可以用于分析材料表面的化学成分和化学状态。在XPS分析中,样品表面会被辐射,产生电子。这些电子会被收集并测量其能量,从而得到样品表面的化学信息。然而,在XPS分析中,电荷效应会影响电子的能量,从而影响分析结果的准确性。因此,需要进行电荷控制和电荷校正。
ISO 19318:2021标准规定了在XPS分析中,应该如何报告电荷控制和电荷校正方法。具体来说,该标准要求报告以下内容:
1. 电荷控制方法:应该报告使用的电荷控制方法,例如使用电子枪或低能电子源对样品进行预处理,以消除表面电荷。
2. 电荷校正方法:应该报告使用的电荷校正方法,例如使用内部标准或外部参考样品进行校正,以消除电荷效应对分析结果的影响。
3. 校正精度:应该报告电荷校正的精度,例如校正后的分析结果与已知结果的比较。
4. 不确定度:应该报告电荷校正的不确定度,例如由于样品制备、仪器漂移等因素引起的误差。
5. 报告格式:应该报告电荷控制和电荷校正方法的详细信息,例如使用的仪器、参数设置、校正公式等。
通过遵循ISO 19318:2021标准,可以确保XPS分析结果的准确性和可重复性,从而提高表面化学分析的质量和可靠性。
相关标准
- ISO 14976:2019 表面化学分析——X射线光电子能谱——数据采集和处理
- ISO 18115-1:2016 表面化学分析——X射线光电子能谱——术语和定义
- ISO 18115-2:2016 表面化学分析——X射线光电子能谱——仪器性能
- ISO 18115-3:2016 表面化学分析——X射线光电子能谱——样品制备
- ISO 18115-4:2016 表面化学分析——X射线光电子能谱——数据处理