SJ/T 10626-1995
键合金丝中微量杂质的ICP发射光谱分析方法
发布时间:1995-04-22 实施时间:1995-10-01


键合金丝是一种用于半导体器件制造的重要材料,其中微量杂质的含量对器件性能有着重要的影响。因此,对键合金丝中微量杂质的分析方法有着严格的要求。SJ/T 10626-1995 键合金丝中微量杂质的ICP发射光谱分析方法就是为了满足这一要求而制定的。

本标准规定了使用ICP发射光谱分析法测定键合金丝中铝、铜、铁、镁、锰、镍、硅、钛、锌、钡、钴、铬、铅、钒、锆等元素的含量。该方法的优点是测定速度快、准确度高、灵敏度高、适用范围广,可以同时测定多种元素。

具体的分析方法如下:

1. 样品的制备

将键合金丝样品切成长度为1cm左右的小段,用去离子水和乙醇分别超声清洗3次,然后用去离子水洗净,干燥备用。

2. 样品的消解

将样品放入石英消解瓶中,加入3mL浓硝酸和1mL氢氟酸,加热消解,直至样品完全溶解。然后加入2mL过氧化氢,继续加热至溶液变为透明,冷却后用去离子水定容至50mL。

3. 样品的分析

将样品溶液放入ICP发射光谱仪中进行分析。根据样品中元素的含量,选择合适的分析线进行测定。在测定过程中,应注意控制ICP发射光谱仪的工作条件,确保测定结果的准确性。

4. 结果的计算

根据ICP发射光谱仪的测定结果,可以计算出样品中各元素的含量。计算公式如下:

C = A / (V × k)

其中,C为元素的质量浓度,单位为μg/mL;A为ICP发射光谱仪测定得到的元素的峰面积,单位为cps;V为样品的体积,单位为mL;k为校正系数。

相关标准
GB/T 223.69-2008 金属和合金中铜的测定 火焰原子吸收光谱法
GB/T 223.71-2008 金属和合金中铁的测定 二苯卡宾分光光度法
GB/T 223.72-2008 金属和合金中锰的测定 酚酞分光光度法
GB/T 223.75-2008 金属和合金中铅的测定 火焰原子吸收光谱法
GB/T 223.76-2008 金属和合金中钒的测定 酚酞分光光度法