电子束暴光机是一种利用电子束对物体进行辐照的设备，广泛应用于半导体、电子、航空航天、医疗等领域。本标准旨在规范电子束暴光机的设计、制造和使用，保证其安全、可靠、高效地工作。

1. 基本要求
电子束暴光机应符合国家有关安全、环保、能源等方面的法律法规和标准要求。其设计、制造和使用应遵循科学、合理、先进、可靠的原则。

2. 技术参数
电子束暴光机的技术参数应符合设计要求，并应在使用前进行检测和确认。主要技术参数包括加速电压、电子束功率、辐照面积、辐照时间等。

3. 结构
电子束暴光机的结构应符合设计要求，并应具有良好的机械强度和稳定性。其主要部件包括加速器、电子枪、辐照室、控制系统等。

4. 性能
电子束暴光机的性能应符合设计要求，并应在使用前进行检测和确认。主要性能指标包括辐照剂量、辐照均匀性、辐照时间控制精度等。

5. 试验方法
电子束暴光机的试验方法应符合国家有关标准和规定，并应在使用前进行检测和确认。主要试验项目包括机械强度试验、电气性能试验、辐射安全试验等。

6. 检验规则和标志
电子束暴光机的检验规则和标志应符合国家有关标准和规定，并应在使用前进行检测和确认。主要检验项目包括外观检验、尺寸检验、电气性能检验、辐射安全检验等。

7. 包装、运输和贮存
电子束暴光机的包装、运输和贮存应符合国家有关标准和规定，并应在使用前进行检测和确认。主要要求包括包装材料、包装方式、运输方式、贮存条件等。

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