SJ/T 10274-1991
掩模对准曝光机测试方法
发布时间:1991-11-12 实施时间:1992-01-01
掩模对准曝光机是半导体集成电路制造中的重要设备之一,其主要作用是将掩模上的图形准确地转移到硅片上,以实现芯片的制造。为了保证掩模对准曝光机的准确性和稳定性,需要进行测试。SJ/T 10274-1991《掩模对准曝光机测试方法》就是为了解决这个问题而制定的。
该标准主要包括以下内容:
1. 测试方法:该标准规定了掩模对准曝光机的测试方法,包括测试仪器、测试步骤等。
2. 测试仪器:该标准规定了测试掩模对准曝光机所需的测试仪器,包括光学显微镜、掩模对准仪、曝光仪等。
3. 测试步骤:该标准规定了测试掩模对准曝光机的具体步骤,包括准备工作、测试前的校准、测试过程中的操作等。
通过对掩模对准曝光机进行测试,可以检测出其准确性和稳定性是否符合要求,从而保证芯片的制造质量。
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