SJ/T 10535-1994
半导体器件用钨舟
发布时间:1994-08-08 实施时间:1994-12-01
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半导体器件是现代电子技术的重要组成部分,其制造过程需要使用到各种辅助材料和设备。钨舟作为半导体器件制造过程中的重要辅助设备,承载和运输半导体晶片,对半导体器件的制造质量和生产效率有着重要的影响。因此,制定一套适用于半导体器件用钨舟的标准,对于保证半导体器件的制造质量和提高生产效率具有重要意义。
SJ/T 10535-1994《半导体器件用钨舟》标准规定了半导体器件用钨舟的材料、制造、检验和包装等方面的要求。具体内容如下:
1.材料要求:钨舟应采用高纯度钨材料制造,其纯度应不低于99.95%。
2.制造要求:钨舟应采用粉末冶金工艺制造,制造过程中应注意控制温度和时间,确保钨舟的密度和尺寸精度符合要求。钨舟的表面应光滑,无明显的气孔和裂纹。
3.检验要求:钨舟应经过外观检验、尺寸检验、密度检验和化学成分分析等多项检验,确保其质量符合要求。钨舟的尺寸精度应符合标准规定,其密度应不低于19.0g/cm³。
4.包装要求:钨舟应采用防震、防潮、防腐蚀的包装材料进行包装,确保其在运输过程中不受损坏。
SJ/T 10535-1994《半导体器件用钨舟》标准的实施,可以有效地规范半导体器件用钨舟的制造和检验过程,提高钨舟的质量和使用效果,保证半导体器件的制造质量和生产效率。
相关标准:
GB/T 3875-2006 半导体器件用铝箔
GB/T 3876-2006 半导体器件用铜箔
GB/T 3877-2006 半导体器件用银箔
GB/T 3878-2006 半导体器件用金箔
GB/T 3879-2006 半导体器件用钛箔