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卧式液相外延系统是一种用于生长半导体材料的设备，其主要特点是反应室水平放置，液相外延溶液在反应室内自由流动，通过控制反应室内的温度、压力、气氛等参数，使溶液中的半导体材料在衬底上生长出所需的晶体结构。

本标准适用于卧式液相外延系统的设计、制造、检验和使用，旨在保证卧式液相外延系统的质量和性能，提高其生产效率和产品质量。

1.术语和定义
本标准中使用的术语和定义与GB/T 2900.1-2008《技术产品文献术语通则》相一致。

2.技术要求
2.1 设计要求
卧式液相外延系统应符合设计要求，包括反应室、加热系统、温度控制系统、气氛控制系统、衬底转动系统、溶液循环系统、排气系统、监测系统等。

2.2 材料要求
卧式液相外延系统所使用的材料应符合相关标准的要求，具有良好的耐腐蚀性、耐高温性、耐磨损性和密封性能。

2.3 性能要求
卧式液相外延系统应具有稳定的温度控制、气氛控制和溶液循环等性能，能够满足生长不同材料的要求。

3.检验方法
3.1 外观检验
卧式液相外延系统应外观无明显缺陷，表面光洁平整，无明显划痕和氧化斑点等。

3.2 性能检验
卧式液相外延系统应进行性能检验，包括温度控制、气氛控制、溶液循环等性能的检验。

4.标志、包装、运输和贮存
4.1 标志
卧式液相外延系统应在设备上标明生产厂家、型号、出厂日期、额定电压、额定功率等信息。

4.2 包装
卧式液相外延系统应采用适当的包装材料进行包装，以保证设备在运输过程中不受损坏。

4.3 运输
卧式液相外延系统应在运输过程中避免碰撞、震动和倾斜等情况，以保证设备的完好性。

4.4 贮存
卧式液相外延系统应存放在干燥、通风、无腐蚀性气体的环境中，以保证设备的质量和性能。

相关标准：
GB/T 2900.1-2008 技术产品文献术语通则
GB/T 2900.2-2008 技术产品文献术语分类
GB/T 2900.3-2008 技术产品文献术语编写规则
GB/T 2900.4-2008 技术产品文献术语术语表达方式
GB/T 2900.5-2008 技术产品文献术语术语标准化工作的基本规则