SJ/T 11131-1997
蒸发镀膜设备基本参数系列
发布时间:1997-09-02 实施时间:1998-01-01
蒸发镀膜设备是一种常用的表面处理设备,广泛应用于电子、光学、机械等领域。为了保证蒸发镀膜设备的质量和性能,需要制定相应的标准。SJ/T 11131-1997《蒸发镀膜设备基本参数系列》就是一份重要的标准。
该标准主要包括以下内容:
1. 基本参数:包括蒸发源、真空系统、控制系统、辅助设备等基本参数的要求。
2. 技术要求:包括蒸发源、真空系统、控制系统、辅助设备等技术要求的详细说明。
3. 检验方法:包括蒸发源、真空系统、控制系统、辅助设备等检验方法的详细说明。
4. 标志:规定了蒸发镀膜设备的标志内容和位置。
5. 包装:规定了蒸发镀膜设备的包装要求。
6. 运输:规定了蒸发镀膜设备的运输要求。
该标准的制定,对于保证蒸发镀膜设备的质量和性能,提高蒸发镀膜设备的生产水平和使用效果,具有重要的意义。
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