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发光二极管外延片是发光二极管的重要组成部分，其质量直接影响到发光二极管的性能和寿命。为了保证发光二极管的质量，需要对外延片进行严格的测试。本标准规定了发光二极管外延片的测试方法，以确保外延片的质量符合要求。

1.外延片尺寸测试方法
外延片尺寸的测试方法包括外延片的长度、宽度、厚度等方面的测试。测试方法可以采用显微镜、扫描电子显微镜等仪器进行测试。

2.外延片表面形貌测试方法
外延片表面形貌的测试方法包括外延片表面的平整度、光洁度等方面的测试。测试方法可以采用原子力显微镜、扫描电子显微镜等仪器进行测试。

3.外延片光电特性测试方法
外延片光电特性的测试方法包括外延片的电学特性、光学特性等方面的测试。测试方法可以采用光电测试仪、光谱仪等仪器进行测试。

4.外延片杂质含量测试方法
外延片杂质含量的测试方法包括外延片中杂质元素的含量、杂质分布等方面的测试。测试方法可以采用质谱仪、电感耦合等离子体质谱仪等仪器进行测试。

5.外延片晶格缺陷测试方法
外延片晶格缺陷的测试方法包括外延片中晶格缺陷的类型、数量等方面的测试。测试方法可以采用X射线衍射仪、透射电子显微镜等仪器进行测试。

6.外延片光谱特性测试方法
外延片光谱特性的测试方法包括外延片的发光波长、发光强度等方面的测试。测试方法可以采用光谱仪、光电测试仪等仪器进行测试。

相关标准：
GB/T 19077.1-2014 发光二极管通用规范
GB/T 19077.2-2014 发光二极管性能测试方法
GB/T 19077.3-2014 发光二极管可靠性试验方法
GB/T 19077.4-2014 发光二极管封装规范
GB/T 19077.5-2014 发光二极管应用指南