一、范围
本标准适用于磷镓砷晶片的组分测定。

二、引用标准
GB/T 6682 分析化学实验室水质规范及评价标准
GB/T 8170 数字表示法和圆整规则
GB/T 9966.1 硅单晶衬底的分类、尺寸和光学特性 第1部分：分类和尺寸
GB/T 9966.2 硅单晶衬底的分类、尺寸和光学特性 第2部分：光学特性
GB/T 9966.3 硅单晶衬底的分类、尺寸和光学特性 第3部分：表面缺陷

三、术语和定义
本标准所涉及的术语和定义与GB/T 6682中的术语和定义相同。

四、原理
样品在紫外激发下发生光致发光，发射光谱中的峰位和峰面积与样品中各组分的含量成正比关系。通过测定样品的光致发光光谱，计算出各组分的含量。

五、仪器和设备
1. 光源：氙灯或汞灯等紫外光源。
2. 单色仪：分辨率不低于0.5nm。
3. 光电倍增管：灵敏度不低于1×10^5V/W。
4. 数据采集系统：具有高速、高精度、低噪声的数据采集卡和计算机。

六、试样的制备
试样的制备应符合GB/T 9966.1、GB/T 9966.2和GB/T 9966.3的要求。

七、操作步骤
1. 将样品放入样品室中，调整样品的位置和角度，使得样品表面与光线垂直，并且样品表面光洁无瑕疵。
2. 打开光源，调整单色仪的波长和分辨率，使得单色仪的输出波长范围包含样品的发射光谱。
3. 调整光电倍增管的增益，使得光电倍增管的输出信号在数据采集系统的动态范围内。
4. 开始采集数据，记录样品的光致发光光谱。
5. 对光谱数据进行处理，计算出各组分的含量。

八、结果的表示
结果应按照GB/T 8170的规定进行数字表示和圆整。

九、精密度和准确度
本方法的精密度和准确度应符合GB/T 6682的要求。

十、质量控制
应按照GB/T 6682的要求进行质量控制。

十一、报告内容
报告内容应包括样品的标识、试验方法、试验结果、分析过程中的问题和解决方法等。

相关标准
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