SJ/T 11496-2015
红外吸收法测量砷化镓中硼含量
发布时间:2015-04-30 实施时间:2015-10-01
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砷化镓是一种重要的半导体材料,广泛应用于光电子、微电子、光通信等领域。其中,硼是砷化镓中常见的杂质元素之一,其含量对砷化镓的性能有着重要的影响。因此,准确测量砷化镓中硼的含量是非常必要的。
本标准采用红外吸收法测量砷化镓中硼的含量。该方法基于硼在红外波段的吸收特性,通过测量样品在红外波段的吸收光谱,计算出样品中硼的含量。
具体操作步骤如下:
1. 样品制备:将待测样品研磨成粉末,并加入适量的碳粉混合均匀。
2. 样品烧蚀:将样品放入烧蚀炉中,在氧化性气氛下加热至高温,使样品中的硼氧化成三氧化硼。
3. 硼含量测量:将烧蚀后的样品放入红外吸收光谱仪中,测量样品在红外波段的吸收光谱,并根据吸收峰的强度计算出样品中硼的含量。
本标准适用于砷化镓中硼含量的测量,适用于砷化镓单晶、多晶、薄膜等不同形态的样品。
相关标准:
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