SJ/T 11506-2015
集成电路用 铝腐蚀液
发布时间:2015-04-30 实施时间:2015-10-01
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集成电路是现代电子技术的重要组成部分,而铝腐蚀液则是集成电路制造过程中不可或缺的化学腐蚀剂。SJ/T 11506-2015《集成电路用铝腐蚀液》是我国针对集成电路制造过程中使用的铝腐蚀液所制定的标准,下面将对该标准进行介绍。
1. 标准适用范围
本标准适用于集成电路制造过程中使用的铝腐蚀液,包括铝线、铝合金线、铝箔等铝材料的腐蚀。
2. 分类和要求
根据铝腐蚀液的化学成分和腐蚀速度,本标准将铝腐蚀液分为A、B、C三类。其中,A类铝腐蚀液的腐蚀速度最快,C类铝腐蚀液的腐蚀速度最慢。不同类别的铝腐蚀液在使用时应根据具体情况进行选择。
3. 试验方法
本标准规定了铝腐蚀液的试验方法,包括外观、密度、pH值、腐蚀速度等指标的测定方法。试验方法的规定有助于保证铝腐蚀液的质量和稳定性。
4. 检验规则
本标准规定了铝腐蚀液的检验规则,包括检验项目、检验方法、检验结果的判定等。检验规则的制定有助于保证铝腐蚀液的质量和稳定性。
5. 标志、包装、运输和贮存
本标准规定了铝腐蚀液的标志、包装、运输和贮存要求。标志、包装、运输和贮存的规定有助于保证铝腐蚀液的质量和安全性。
相关标准:
GB/T 191-2008 包装通用术语
GB/T 6678-2003 化学试剂 包装、标志、运输和贮存
GB/T 8170-2008 数量和计量单位
GB/T 17519-2013 化学品安全技术说明书
GB/T 2792-2014 化学试剂 一般规定