SJ/T 11501-2015
碳化硅单晶晶型的测试方法
发布时间:2015-04-30 实施时间:2015-10-01


碳化硅单晶是一种重要的半导体材料,其性能受晶型影响较大。因此,对碳化硅单晶晶型的测试方法进行规范化是十分必要的。本标准旨在规定碳化硅单晶晶型的测试方法,以保证测试结果的准确性和可靠性。

1.范围
本标准适用于碳化硅单晶晶型的测试。

2.测试原理
本标准采用X射线衍射法测试碳化硅单晶晶型。通过测量样品的X射线衍射图谱,分析其晶型类型和取向。

3.测试仪器
3.1 X射线衍射仪
3.2 样品支架
3.3 样品旋转台

4.测试步骤
4.1 样品制备
将碳化硅单晶样品切割成合适的尺寸,并在样品表面进行抛光处理。
4.2 样品安装
将样品固定在样品支架上,并将样品支架安装在样品旋转台上。
4.3 测量条件设置
设置X射线衍射仪的测量条件,包括X射线管电压、电流、滤波器等参数。
4.4 测量
启动X射线衍射仪,进行测量。测量时间应足够长,以保证测量结果的准确性。
4.5 数据处理
对测量得到的X射线衍射图谱进行数据处理,分析样品的晶型类型和取向。

5.测试结果的表示
测试结果应包括样品的晶型类型和取向。

6.测试结果的判定
测试结果应符合相关标准的要求。

相关标准:
GB/T 19579-2017 碳化硅单晶晶体缺陷检测方法
GB/T 19580-2017 碳化硅单晶晶体取向测定方法
GB/T 19581-2017 碳化硅单晶晶体表面缺陷检测方法
GB/T 19582-2017 碳化硅单晶晶体尺寸测量方法
GB/T 19583-2017 碳化硅单晶晶体杂质含量测定方法