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一、范围
本标准适用于集成电路用氧化层缓冲腐蚀液的生产和检验。

二、分类
氧化层缓冲腐蚀液按照其化学成分分为硝酸型和氢氟酸型两种。

三、要求
1. 外观：无色透明液体。
2. 化学成分：硝酸型和氢氟酸型氧化层缓冲腐蚀液的化学成分应符合表1的要求。

表1 化学成分要求

| 序号 | 化学成分 | 硝酸型 | 氢氟酸型 |
| ---- | -------- | ------- | -------- |
| 1 | HNO3 | 50%~70% | - |
| 2 | HF | - | 1%~5% |
| 3 | H2O | 30%~50% | 95%~99% |

3. 性能指标：硝酸型和氢氟酸型氧化层缓冲腐蚀液的性能指标应符合表2的要求。

表2 性能指标要求

| 序号 | 性能指标 | 硝酸型 | 氢氟酸型 |
| ---- | -------- | ------- | -------- |
| 1 | 缓蚀效果 | 优 | 优 |
| 2 | 腐蚀速率 | 适中 | 适中 |
| 3 | 氧化层厚度 | 适中 | 适中 |

四、试验方法
1. 外观检查：将样品倒入透明玻璃瓶中，观察其外观。
2. 化学成分检查：采用化学分析方法检测样品中各化学成分的含量。
3. 性能指标检查：将样品涂覆在集成电路表面，经过一定时间后，观察氧化层的厚度和缓蚀效果。

五、检验规则
1. 外观、化学成分和性能指标均应符合本标准的要求。
2. 检验结果应符合表3的规定。

表3 检验结果规定

| 序号 | 检验项目 | 检验结果 |
| ---- | -------- | -------- |
| 1 | 外观 | 合格 |
| 2 | 化学成分 | 合格 |
| 3 | 性能指标 | 合格 |

六、标志、包装、运输和贮存
1. 标志：每个包装桶应标明产品名称、生产厂家、生产日期、批号、净重等信息。
2. 包装：采用塑料桶或玻璃瓶包装，净重不超过25kg。
3. 运输：运输过程中应防止碰撞、摩擦和倒置，防止泄漏。
4. 贮存：应存放在阴凉、干燥、通风的库房中，避免阳光直射和高温环境。

相关标准：
GB/T 26527-2011 集成电路用氧化层缓冲腐蚀液
GB/T 26528-2011 集成电路用氧化层缓冲腐蚀液试验方法
GB/T 26529-2011 集成电路用氧化层缓冲腐蚀液检验规则
GB/T 26530-2011 集成电路用氧化层缓冲腐蚀液标志、包装、运输和贮存
GB/T 26531-2011 集成电路用氧化层缓冲腐蚀液的分类