SJ/T 3328.6-2016
电子产品用高纯石英砂 第6部分 铜的测定
发布时间:2016-01-15 实施时间:2016-06-01


电子产品用高纯石英砂是一种重要的电子材料,广泛应用于半导体、光电子、电子陶瓷等领域。其中,铜是高纯石英砂中的一种重要杂质元素,其含量对于高纯石英砂的质量和性能有着重要的影响。因此,对于电子产品用高纯石英砂中铜的测定方法的研究具有重要的意义。

本标准主要包括以下内容:

1.范围
本标准规定了电子产品用高纯石英砂中铜的测定方法。

2.方法概述
本标准采用电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定电子产品用高纯石英砂中铜的含量。

3.试样的制备
试样的制备应符合以下要求:
(1)试样应为电子产品用高纯石英砂;
(2)试样应经过干燥、研磨等处理;
(3)试样应按照一定比例加入内标元素。

4.仪器设备
本标准所需的仪器设备包括:电感耦合等离子体质谱仪、电子天平、超纯水系统等。

5.分析步骤
本标准的分析步骤包括:样品的预处理、仪器的操作参数设置、样品的进样、仪器的分析等。

6.结果的计算与表达
本标准的结果计算应符合以下要求:
(1)计算样品中铜的含量;
(2)计算样品中内标元素的含量;
(3)计算样品中铜的相对含量。

7.精密度和准确度
本标准的精密度和准确度应符合以下要求:
(1)重复测定样品,计算相对标准偏差;
(2)对标准物质进行测定,计算准确度。

相关标准:
GB/T 6900-2006 电子级高纯石英砂
GB/T 6901-2008 电子级高纯石英砂化学分析方法
GB/T 6902-2008 电子级高纯石英砂物理性能测定方法
GB/T 6903-2008 电子级高纯石英砂颗粒度分布测定方法
GB/T 6904-2008 电子级高纯石英砂杂质元素测定方法