真空镀膜设备是一种用于制备各种薄膜的设备，广泛应用于电子、光学、化工、材料等领域。为了保证真空镀膜设备的正常运行和薄膜质量，需要对设备进行完好要求和检查评定。

本标准主要包括以下内容：

1. 设备完好要求：包括设备的机械、电气、真空、冷却、加热等方面的要求，以及设备的安全保护措施和环境要求等。

2. 设备检查评定方法：包括设备的初检、定期检查和特殊检查等方面的方法，以及检查评定的标准和要求等。

设备完好要求是指设备在设计、制造、安装、调试、维护和检修等各个环节中应满足的要求。本标准对设备的机械、电气、真空、冷却、加热等方面的要求进行了详细的规定，包括设备的结构、材料、加工精度、电气控制系统、真空系统、冷却系统、加热系统等方面的要求。此外，本标准还对设备的安全保护措施和环境要求进行了规定，包括设备的安全防护、环境温度、湿度、洁净度等方面的要求。

设备检查评定方法是指对设备进行初检、定期检查和特殊检查等方面的方法和标准。初检是指对新设备进行的检查，主要是为了确认设备是否符合设计要求和制造标准。定期检查是指对设备进行的定期检查，主要是为了发现设备的故障和隐患，及时进行维护和修理。特殊检查是指对设备进行的针对性检查，主要是为了解决设备运行中出现的问题和难题。本标准对设备的初检、定期检查和特殊检查等方面的方法和标准进行了详细的规定，包括检查的内容、方法、标准和要求等。

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