SJ/T 11668-2017
电真空器件真空炉能源消耗规范
发布时间:2017-01-09 实施时间:2017-07-01


电真空器件真空炉是一种用于加工电子元器件、光电器件、半导体器件等高科技产品的特种炉具。由于其工作环境需要保持高真空状态,因此其能源消耗较高。为了减少能源消耗,提高能源利用效率,保护环境,本标准制定了电真空器件真空炉能源消耗规范。

本标准适用于电真空器件真空炉的能源消耗计算、能源消耗限值、能源消耗检测和能源消耗评价。其中,能源消耗计算方法包括炉具能源消耗计算和加工能源消耗计算;能源消耗限值包括炉具能源消耗限值和加工能源消耗限值;能源消耗检测方法包括炉具能源消耗检测和加工能源消耗检测;能源消耗评价方法包括炉具能源消耗评价和加工能源消耗评价。

本标准要求电真空器件真空炉的能源消耗应符合国家能源消耗限值标准和行业标准。同时,本标准还规定了电真空器件真空炉的能源消耗检测周期和检测方法,以及能源消耗评价的方法和标准。

相关标准:
GB/T 18457-2017 电子、光电子和半导体器件制造用真空炉
GB/T 18458-2017 电子、光电子和半导体器件制造用真空炉能源消耗限值
GB/T 18459-2017 电子、光电子和半导体器件制造用真空炉能源消耗检测方法
GB/T 18460-2017 电子、光电子和半导体器件制造用真空炉能源消耗评价方法
GB/T 18461-2017 电子、光电子和半导体器件制造用真空炉能源消耗计算方法