SJ/T 11494-2015
硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法
发布时间:2015-04-30 实施时间:2015-10-01
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硅单晶中III-V族杂质的光致发光测试方法是一种用于检测硅单晶中III-V族杂质含量的方法。本标准规定了该方法的测试步骤、测试条件、测试结果的判定等内容。
测试步骤:
1. 样品制备:将硅单晶样品切割成适当大小的薄片,并进行表面处理。
2. 测试装置:使用光致发光测试装置进行测试。
3. 测试条件:测试温度为室温,激发光源为氦氖激光器,激发光功率为10mW,激发光波长为632.8nm。
4. 测试过程:将样品放置在测试装置中,进行光致发光测试。
5. 测试结果:根据测试结果,判断样品中III-V族杂质的含量。
测试条件:
1. 温度:测试温度为室温。
2. 激发光源:使用氦氖激光器作为激发光源。
3. 激发光功率:激发光功率为10mW。
4. 激发光波长:激发光波长为632.8nm。
测试结果:
根据测试结果,判断样品中III-V族杂质的含量。如果样品中含有III-V族杂质,则会在测试过程中发出光致发光信号。根据信号的强度和波长,可以判断样品中III-V族杂质的含量。
相关标准:
1. GB/T 19519-2004 硅单晶中杂质元素的测定方法
2. GB/T 19520-2004 硅单晶中杂质元素的测定方法(电感耦合等离子体质谱法)
3. GB/T 19521-2004 硅单晶中杂质元素的测定方法(电感耦合等离子体原子发射光谱法)
4. GB/T 19522-2004 硅单晶中杂质元素的测定方法(电感耦合等离子体质谱法)
5. GB/T 19523-2004 硅单晶中杂质元素的测定方法(电感耦合等离子体原子发射光谱法)