SJ/T 11502-2015
碳化硅单晶抛光片规范
发布时间:2015-04-30 实施时间:2015-10-01


碳化硅单晶抛光片是一种用于半导体材料制造的重要工具。为了保证碳化硅单晶抛光片的质量和稳定性,需要制定相应的规范。SJ/T 11502-2015 碳化硅单晶抛光片规范就是为了满足这一需求而制定的。

该标准主要包括以下内容:

1. 规定了碳化硅单晶抛光片的分类、尺寸、形状和表面质量等要求。

2. 规定了碳化硅单晶抛光片的制造工艺和质量控制要求,包括原材料的选择、加工工艺、抛光工艺等。

3. 规定了碳化硅单晶抛光片的检验方法和标准,包括外观检查、尺寸测量、表面质量检查、化学成分分析等。

4. 规定了碳化硅单晶抛光片的包装、标志和贮存要求,包括包装材料、标志内容、贮存条件等。

该标准的实施可以保证碳化硅单晶抛光片的质量和稳定性,提高半导体材料制造的效率和质量。

相关标准:
GB/T 24722-2009 碳化硅单晶生长用石墨舟
GB/T 24723-2009 碳化硅单晶生长用石墨棒
GB/T 24724-2009 碳化硅单晶生长用石墨管
GB/T 24725-2009 碳化硅单晶生长用石墨板
GB/T 24726-2009 碳化硅单晶生长用石墨环