HG/T 5962-2021
硅片切割废液处理处置方法
发布时间:2021-08-21 实施时间:2022-02-01
硅片切割废液是指在硅片切割过程中产生的废液,主要成分为水、硅粉、切割液等。这些废液中含有大量的有害物质,如重金属、有机物等,如果不经过处理处置直接排放到环境中,会对环境造成严重的污染,危害人民健康。因此,对硅片切割废液进行处理处置是非常必要的。
本标准规定了硅片切割废液的处理处置方法,包括废液的收集、中和、沉淀、过滤、蒸发、干燥等步骤。其中,废液的收集是第一步,必须将废液收集到专门的收集罐中,以免废液外泄。接下来,对废液进行中和处理,将废液中的酸碱度调整到中性,以便后续处理。然后,将中和后的废液进行沉淀处理,将废液中的固体物质沉淀下来。沉淀后,对废液进行过滤处理,将废液中的杂质过滤掉。接下来,对过滤后的废液进行蒸发处理,将废液中的水分蒸发掉。最后,将蒸发后的废液进行干燥处理,将废液中的固体物质干燥成粉末状,以便后续处理或处置。
本标准还规定了硅片切割废液的处置方法,包括废液的回收利用和安全处置。对于处理后的废液,可以进行回收利用,如用于生产其他产品或进行再利用处理。对于无法回收利用的废液,必须进行安全处置,如交由专门的废液处理公司进行处理或进行无害化处理后排放。
本标准的实施,有利于规范硅片切割废液的处理处置,减少废液对环境的污染,保障人民健康。
相关标准
GB 5085.3-2007 工业废水综合排放标准 第3部分:电子工业
GB 18597-2001 工业废水污染物排放标准
GB 3096-2008 环境噪声标准
GB 18484-2015 工业企业环境声音排放标准
GB 16297-1996 工业废气排放标准