一、范围
本标准适用于工业用混合气体硅烷/氮气的生产、包装、贮存和使用。

二、技术要求
1. 气体成分

硅烷（SiH4）体积分数为（0.5～10）%；
氮气（N2）体积分数为（90～99.5）%。

2. 气体纯度

硅烷的纯度不低于99.999%（体积分数）；
氮气的纯度不低于99.999%（体积分数）。

3. 气体杂质

氧气（O2）体积分数不超过50×10-6；
水蒸气（H2O）体积分数不超过50×10-6；
二氧化碳（CO2）体积分数不超过10×10-6；
氮氧化物（NOx）体积分数不超过10×10-6。

4. 气体湿度

气体相对湿度不超过30%。

5. 气体压力

气体压力为（0.1～20）MPa。

6. 气体流量

气体流量为（0.1～1000）m3/h。

三、试验方法
1. 气体成分的测定

采用气相色谱法测定气体成分。

2. 气体纯度的测定

采用热导法、红外吸收法、质谱法等测定气体纯度。

3. 气体杂质的测定

采用气相色谱法、红外吸收法、化学分析法等测定气体杂质。

4. 气体湿度的测定

采用露点仪、电容式湿度计等测定气体湿度。

5. 气体压力的测定

采用压力计、压力传感器等测定气体压力。

6. 气体流量的测定

采用流量计、质量流量计等测定气体流量。

四、包装、标志、运输和贮存
1. 包装

气体应采用钢瓶、铝瓶、复合材料瓶等包装。

2. 标志

气体包装应标明气体名称、成分、纯度、压力、流量、包装日期等信息。

3. 运输

气体运输应符合国家相关法律法规和标准要求。

4. 贮存

气体应贮存在通风、干燥、阴凉、避光、防潮的库房内，与易燃、易爆、有毒、有害物质隔离存放。

相关标准
GB/T 4842 气瓶标志
GB/T 4843 气瓶检验规程
GB/T 4844 气瓶充装、排气、清洗和检漏方法
GB/T 4845 气瓶安全阀
GB/T 4846 气瓶防护帽