YS/T 426.3-2000
锑铍芯块化学分析方法 8-羟基喹啉分光光度法测定铝量
发布时间:2000-03-29 实施时间:2000-10-01
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锑铍芯块是一种用于制造半导体器件的材料,其中含有多种元素,包括铝。测定锑铍芯块中铝的含量对于材料的质量控制和工艺优化具有重要意义。本标准介绍了一种测定锑铍芯块中铝量的化学分析方法——羟基喹啉分光光度法。
该方法的主要步骤如下:
1.样品的制备
将锑铍芯块样品粉碎并混匀,取约0.5g样品,加入100mL三氧化二铁-氢氧化钠溶液中,加热至沸腾,持续加热2h,冷却后过滤,将滤液定容至100mL。
2.标准曲线的制备
取一定量的铝标准溶液,分别加入一定量的羟基喹啉试剂和三氧化二铁-氢氧化钠溶液,制备出一系列不同浓度的标准溶液。
3.测定
将样品溶液和标准溶液分别加入分光光度计中,测定其吸光度值。根据标准曲线计算出样品中铝的含量。
本方法具有灵敏度高、准确度高、重现性好等优点,适用于锑铍芯块中铝量的测定。
相关标准:
GB/T 6900-2006 半导体材料锑铍芯块
GB/T 6901-2006 半导体材料锑铍芯块化学分析方法
GB/T 6902-2006 半导体材料锑铍芯块物理性能测定方法
GB/T 6903-2006 半导体材料锑铍芯块尺寸测定方法
GB/T 6904-2006 半导体材料锑铍芯块表面质量检验方法