YS/T 38.2-2009
高纯镓化学分析方法 第2部分:镁、钛、铬、锰、镍、钴、铜、锌、镉、锡、铅、铋量的测定 电感耦合等离子体质谱法
发布时间:2009-12-04 实施时间:2010-06-01


高纯镓是一种重要的半导体材料,其纯度要求非常高。为了保证高纯镓的质量,需要对其中的杂质进行分析。本标准介绍了一种测定高纯镓中镁、钛、铬、锰、镍、钴、铜、锌、镉、锡、铅、铋量的方法,即电感耦合等离子体质谱法。

该方法的原理是利用电感耦合等离子体质谱仪对高纯镓中的杂质进行分析。首先将高纯镓样品溶解,然后加入内标元素,将溶液转移到电感耦合等离子体质谱仪中进行分析。通过测量样品中杂质元素的质量信号强度和内标元素的质量信号强度,可以计算出样品中杂质元素的含量。

本标准详细介绍了样品的制备、仪器的操作、质量信号强度的测量、数据处理等方面的内容。同时,还对测量结果的准确性和精密度进行了要求,包括了重复性、准确度、检出限等指标。

使用本标准可以准确、快速地测定高纯镓中镁、钛、铬、锰、镍、钴、铜、锌、镉、锡、铅、铋的含量,为高纯镓的生产和质量控制提供了重要的技术支持。

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