铌靶是一种常用的平面磁控溅射靶材,广泛应用于光学薄膜、电子器件、太阳能电池等领域。YS/T 718-2009 标准规定了铌靶的分类、要求、试样制备、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等方面的内容。
1. 分类和要求
铌靶按照制备方法分为热压铸造和粉末冶金两种类型。标准规定了铌靶的化学成分、杂质含量、密度、晶粒度、表面质量、尺寸和形状等要求。其中,铌靶的化学成分应符合标准要求,杂质含量应控制在一定范围内,密度应达到一定的要求,晶粒度应小于等于100μm,表面质量应平整光滑,尺寸和形状应符合标准规定。
2. 试样制备
标准规定了铌靶试样的制备方法,包括试样的切割、抛光和清洗等步骤。试样的尺寸和形状应符合标准规定,表面应平整光滑,无明显划痕和氧化层。
3. 试验方法
标准规定了铌靶的试验方法,包括化学成分分析、杂质含量测定、密度测定、晶粒度测定、表面质量检验、尺寸和形状检验等方面的内容。试验方法应符合标准规定,并应在合适的实验条件下进行。
4. 检验规则
标准规定了铌靶的检验规则,包括检验项目、检验方法、检验结果判定和允许的缺陷等方面的内容。铌靶应符合标准规定的要求,不得有明显的缺陷和不良现象。
5. 标志、包装、运输和贮存
标准规定了铌靶的标志、包装、运输和贮存等方面的内容。铌靶应在包装标志上注明铌靶的名称、规格、批号、生产厂家等信息,包装应符合标准规定的要求,运输和贮存应注意防潮、防震、防晒等措施。
相关标准
GB/T 6987-1986 金属材料 试样制备方法
GB/T 8170-2008 数值航空产品规范与检验通用规定
GB/T 10561-2005 金属材料 密度测定方法
GB/T 11170-2008 金属材料 晶粒度测定方法
GB/T 1804-2000 包装标志通用规则