YS/T 666-2008
工业镓化学分析方法 杂质元素的测定 电感耦合等离子体原子发射光谱法
发布时间:2008-03-12 实施时间:2008-09-01


工业镓是一种重要的半导体材料,广泛应用于电子、光电、航空航天等领域。工业镓的纯度对其性能有着重要的影响,因此需要对工业镓中的杂质元素进行测定。本标准规定了一种电感耦合等离子体原子发射光谱法测定工业镓中杂质元素的方法。

1.范围
本标准适用于工业镓中杂质元素的测定。

2.仪器设备
2.1 电感耦合等离子体发射光谱仪
2.2 氩气瓶
2.3 氧气瓶
2.4 氮气瓶
2.5 氢气瓶
2.6 高纯氢气瓶
2.7 高纯氮气瓶
2.8 高纯氧气瓶
2.9 高纯氩气瓶
2.10 高纯氦气瓶
2.11 高纯氢气发生器
2.12 高纯氮气发生器
2.13 高纯氧气发生器
2.14 高纯氩气发生器
2.15 高纯氦气发生器

3.试剂和材料
3.1 工业镓样品
3.2 氩气
3.3 氧气
3.4 氮气
3.5 氢气
3.6 高纯氢气
3.7 高纯氮气
3.8 高纯氧气
3.9 高纯氩气
3.10 高纯氦气

4.分析步骤
4.1 样品制备
将工业镓样品研磨成粉末,取约0.1g样品,加入10mL高纯氢气,超声处理10min,然后过滤,取滤液备用。
4.2 仪器调试
按照仪器说明书进行调试。
4.3 标准曲线的绘制
取一定浓度的标准溶液,按照一定的比例稀释,制备出一系列不同浓度的标准溶液,然后进行测定,绘制出标准曲线。
4.4 样品测定
将样品溶液加入电感耦合等离子体发射光谱仪中,进行测定。

5.结果计算
根据标准曲线计算出样品中杂质元素的含量。

相关标准
GB/T 6908-2017 工业镓
GB/T 6909-2017 工业镓化学分析方法
GB/T 6910-2017 工业镓物理性能测定方法
GB/T 6911-2017 工业镓尺寸测定方法
GB/T 6912-2017 工业镓表面质量检验方法