一、范围
本标准适用于制备五氧化二铌靶材的生产和检验。

二、性能要求
1. 化学成分：五氧化二铌的纯度不得低于99.99%。
2. 相对密度：不得低于7.13g/cm³。
3. 晶体结构：β型。
4. 晶粒度：平均晶粒度不得大于100μm。
5. 晶面取向：(001)晶面取向的比例不得低于90%。
6. 表面质量：表面不得有明显的裂纹、气泡、夹杂物等缺陷。
7. 尺寸：直径不得小于10mm，厚度不得小于0.5mm。

三、检验方法
1. 化学成分：采用化学分析方法进行检验。
2. 相对密度：采用比重法进行检验。
3. 晶体结构：采用X射线衍射法进行检验。
4. 晶粒度：采用金相显微镜进行检验。
5. 晶面取向：采用X射线衍射法进行检验。
6. 表面质量：采用目视检查和显微镜检查进行检验。
7. 尺寸：采用卡尺进行检验。

四、包装、标志、运输
1. 包装：采用防震、防潮、防锈的包装材料进行包装。
2. 标志：应在包装上标明产品名称、规格、数量、生产日期等信息。
3. 运输：应注意防震、防潮、防锈，避免碰撞、摩擦等损坏。

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