一、范围
本标准适用于制备集成电路器件用的镍钒合金靶材。

二、规定
2.1 材料
2.1.1 镍钒合金靶材应符合表1的化学成分要求。
表1 化学成分要求（质量分数/%）

元素 化学成分
Ni 50~60
V 40~50
C ≤0.03
S ≤0.01
P ≤0.01
Fe ≤0.5
Si ≤0.5
Mn ≤0.5
2.1.2 镍钒合金靶材应采用真空感应熔炼或真空电弧熔炼工艺制备。
2.2 性能要求
2.2.1 镍钒合金靶材应具有均匀的化学成分和组织结构，无裂纹、气孔、夹杂物等缺陷。
2.2.2 镍钒合金靶材的尺寸应符合表2的要求。
表2 尺寸要求

尺寸 允许偏差
直径（mm） ±0.5
厚度（mm） ±0.5
2.2.3 镍钒合金靶材的表面应光洁平整，无明显划痕和氧化层。
2.3 检验方法
2.3.1 化学成分检验方法应符合GB/T 4336的规定。
2.3.2 组织结构检验方法应符合GB/T 6394的规定。
2.3.3 尺寸检验方法应符合GB/T 1804的规定。
2.3.4 表面质量检验方法应符合GB/T 6060的规定。
2.4 标志、包装、运输、贮存
2.4.1 镍钒合金靶材应在表面标明材料名称、化学成分、尺寸、批号等信息。
2.4.2 镍钒合金靶材应采用防震、防潮、防锈的包装材料包装，并在包装上标明材料名称、化学成分、尺寸、批号等信息。
2.4.3 镍钒合金靶材应在干燥、通风、无腐蚀性气体的环境中贮存，避免与酸、碱、盐等有害物质接触。
2.4.4 镍钒合金靶材在运输过程中应注意防震、防潮、防锈，避免与有害物质接触。

相关标准
GB/T 4336-2016 金属材料化学分析方法
GB/T 6394-2017 金属材料显微组织检验方法
GB/T 1804-2000 尺寸公差和公差限制
GB/T 6060-2006 金属材料表面缺陷检验方法