溅射靶材是一种用于制备薄膜的材料，其质量直接影响到薄膜的性能和稳定性。而溅射靶材的质量又与其背板结合的质量密切相关。因此，对溅射靶材-背板结合质量进行检验是非常必要的。

本标准规定了溅射靶材-背板结合质量超声波检验方法的要求和检验程序。该方法采用超声波检测技术，通过检测声波在材料中的传播速度和反射信号来判断材料的质量。

具体的检验程序如下：

1. 检验前准备

检验前应对检验设备进行校准，并对待检测的溅射靶材-背板结合进行清洁和表面处理。

2. 检验方法

将超声波探头放置在待检测的溅射靶材-背板结合的表面上，通过超声波的传播和反射信号来判断材料的质量。具体的检验方法和参数应根据实际情况进行确定。

3. 检验结果判定

根据检验结果，判断溅射靶材-背板结合的质量是否符合要求。如果检验结果不合格，则应进行修复或更换。

本标准还规定了检验报告的内容和格式，以及检验记录的保存要求。

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