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高纯钽是一种重要的金属材料，广泛应用于航空、航天、核工业等领域。高纯钽的杂质元素含量对其性能和应用有着重要的影响。因此，对高纯钽中痕量杂质元素的测定方法进行规范和标准化具有重要的意义。

本标准采用电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）进行高纯钽中痕量杂质元素的测定。该方法具有灵敏度高、准确度高、选择性好等优点，能够同时测定多种元素，适用于高纯钽中痕量杂质元素的测定。

本标准规定了高纯钽样品的制备方法、ICP-MS的操作条件、测定方法、数据处理等内容。其中，高纯钽样品的制备方法包括样品的预处理、消解和稀释等步骤。ICP-MS的操作条件包括离子源温度、气体流量、射频功率等参数的设置。测定方法包括样品的进样、质谱仪的调试和测量等步骤。数据处理包括质谱图的解析、峰面积的计算、质量浓度的计算等内容。

本标准适用于高纯钽中痕量杂质元素的测定，可用于质量控制、产品检验等领域。

相关标准：
GB/T 6988-2008 金属材料化学分析方法 电感耦合等离子体发射光谱法
GB/T 8170-2008 数值圆整规则及方法
GB/T 11170-2008 金属材料化学分析方法 石墨炉原子吸收光谱法
GB/T 20125-2006 金属材料 化学分析方法 硫酸铵分解-电感耦合等离子体发射光谱法
GB/T 20126-2006 金属材料 化学分析方法 硫酸铵分解-电感耦合等离子体质谱法