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高纯砷是一种重要的半导体材料，广泛应用于电子、光电、化工等领域。高纯砷的杂质含量对其性能和应用有着重要的影响。因此，准确测定高纯砷中杂质含量是保证其质量和应用的关键。

本标准采用电感耦合等离子体质谱法（ICP-MS）测定高纯砷中杂质含量。该方法具有灵敏度高、准确度高、重现性好等优点，能够同时测定多种元素的含量。

本标准规定了样品的制备方法、仪器的操作条件、分析方法和结果的计算方法。其中，样品的制备方法包括样品的预处理、消解和稀释；仪器的操作条件包括等离子体的功率、气体流量、离子透镜的参数等；分析方法包括质量分析器的扫描范围、扫描速度、积分时间等；结果的计算方法包括内标法和外标法两种方法。

本标准适用于高纯砷中杂质含量的测定，可用于质量控制、产品检验和科学研究等领域。

相关标准：
GB/T 6908-2017 电感耦合等离子体质谱法分析方法
GB/T 8170-2008 数值圆整规则及方法
GB/T 6682-2008 分析化学实验室水质规格和评价
GB/T 8171-2008 数值舍入规则及方法
GB/T 8172-2008 数值计算中数字舍入的处理