氧化镓是一种重要的半导体材料，广泛应用于电子、光电、光学等领域。氧化镓的纯度对其性能有着重要的影响，因此需要对氧化镓中的杂质元素进行测定。本标准采用电感耦合等离子体质谱法进行分析，具有高灵敏度、高准确度、高选择性等优点。

1. 范围
本标准适用于氧化镓中杂质元素的测定。

2. 仪器设备
采用电感耦合等离子体质谱仪进行分析。

3. 试剂和材料
试剂和材料应符合国家标准或行业标准的要求。

4. 样品制备
样品应按照国家标准或行业标准的要求进行制备。

5. 操作步骤
（1）样品的制备：将样品按照国家标准或行业标准的要求进行制备。
（2）样品的处理：将样品加入适量的稀盐酸中，加热至沸腾，使样品完全溶解。
（3）质谱分析：将样品溶液通过电感耦合等离子体质谱仪进行分析。

6. 结果计算
根据质谱仪的测定结果，按照国家标准或行业标准的要求进行计算。

7. 结果报告
报告应包括样品的名称、编号、测定结果等信息。

相关标准
GB/T 6908-2017 氧化镓化学分析方法
GB/T 6909-2017 氧化镓中杂质元素的测定 火焰原子吸收光谱法
GB/T 6910-2017 氧化镓中杂质元素的测定 石墨炉原子吸收光谱法
GB/T 6911-2017 氧化镓中杂质元素的测定 电感耦合等离子体发射光谱法
GB/T 6912-2017 氧化镓中杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法