多晶硅还原炉和氢化炉是半导体材料生产过程中的重要设备，其尾气成分的测定对于生产过程的控制和环境保护具有重要意义。YS/T 983-2014 标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气中各种气体成分的测定方法，为生产过程的控制和环境保护提供了技术支持。

本标准规定了多晶硅还原炉和氢化炉尾气中氢气、氮气、氧气、二氧化碳、一氧化碳、甲烷、乙烷、乙烯、丙烷、丙烯、异丁烷、氢气硫化物、氢气氟化物、氢气氯化物、氢气溴化物、氢气碘化物、氢气氰化物、氢气氨、氢气氧化物、氢气硝酸盐、氢气硫酸盐、氢气硝酸、氢气氯酸、氢气氟酸、氢气磷酸盐、氢气硼酸盐、氢气硅酸盐、氢气碳酸盐、氢气氢氧化物、氢气硫酸、氢气硫酸二氢钾、氢气硫酸二氢钠、氢气硫酸铵、氢气硫酸钠、氢气氯化钠、氢气氯化钾、氢气氯化铵、氢气氟化钠、氢气氟化钾、氢气氟化铵、氢气碘化钠、氢气碘化钾、氢气碘化铵、氢气氰化钠、氢气氰化钾、氢气氰化铵、氢气氨水、氢气硝酸铵、氢气硝酸钾、氢气硝酸钠、氢气硝酸铁、氢气硝酸铜、氢气硝酸铅、氢气硝酸银、氢气硝酸汞、氢气硝酸镉、氢气硝酸锌、氢气硝酸铝、氢气硝酸钴、氢气硝酸镍、氢气硝酸钒、氢气硝酸钨、氢气硝酸钛、氢气硝酸钾铝、氢气硝酸钾铁、氢气硝酸钾铜、氢气硝酸钾铅、氢气硝酸钾银、氢气硝酸钾汞、氢气硝酸钾镉、氢气硝酸钾锌、氢气硝酸钾镍、氢气硝酸钾钒、氢气硝酸钾钨、氢气硝酸钾钛、氢气硝酸铵铝、氢气硝酸铵铁、氢气硝酸铵铜、氢气硝酸铵铅、氢气硝酸铵银、氢气硝酸铵汞、氢气硝酸铵镉、氢气硝酸铵锌、氢气硝酸铵镍、氢气硝酸铵钒、氢气硝酸铵钨、氢气硝酸铵钛的测定方法。

本标准适用于多晶硅还原炉和氢化炉尾气成分的测定。

相关标准
GB/T 16157-2012 环境空气质量标准
GB/T 16158-2012 环境空气质量自动监测方法
GB/T 16159-2012 环境空气质量手动监测方法
GB/T 16160-2012 环境空气质量评价方法
GB/T 16161-2012 环境空气质量数据表示方法