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高纯三氧化二镓是一种重要的半导体材料，其杂质含量对其性能有着重要的影响。因此，准确测定高纯三氧化二镓中的杂质含量是非常重要的。本标准规定了采用电感耦合等离子体质谱法进行高纯三氧化二镓杂质含量的测定方法。

1.范围
本标准适用于高纯三氧化二镓杂质含量的测定。

2.仪器设备
采用电感耦合等离子体质谱仪进行测定。

3.试样制备
将高纯三氧化二镓样品加入到石英坩埚中，加热至1000℃，保温2小时，然后冷却至室温，制备试样。

4.测定方法
将试样放入电感耦合等离子体质谱仪中，进行测定。测定时，应注意以下事项：
（1）仪器应在稳定状态下进行测定；
（2）测定时应避免空气进入仪器；
（3）测定时应注意仪器的灵敏度和分辨率。

5.计算方法
根据测定结果，计算高纯三氧化二镓中杂质含量的百分比。

相关标准：
GB/T 6908-2017 高纯氧化铝化学分析方法
GB/T 6909-2017 高纯氧化铝物理性能测试方法
GB/T 6910-2017 高纯氧化铝杂质含量测定方法
GB/T 6911-2017 高纯氧化铝颗粒度测定方法
GB/T 6912-2017 高纯氧化铝比表面积测定方法