硅抛光回收片是半导体材料中的一种重要材料，用于半导体芯片的制造过程中。YS/T 985-2014 硅抛光回收片标准规定了硅抛光回收片的质量要求和检验方法，以确保其在半导体芯片制造过程中的稳定性和可靠性。

该标准规定了硅抛光回收片的分类、要求、检验方法、标志、包装、运输和贮存等方面的内容。其中，硅抛光回收片的分类包括单面抛光回收片和双面抛光回收片两种类型。要求方面，硅抛光回收片应符合规定的尺寸、表面质量、平整度、厚度、硬度、化学成分等要求。检验方法方面，标准规定了硅抛光回收片的外观检验、尺寸检验、表面质量检验、平整度检验、厚度检验、硬度检验、化学成分检验等多项检验方法。

在标志、包装、运输和贮存方面，标准规定了硅抛光回收片应标注相关信息，如型号、规格、批号等；包装应符合相关要求，以确保产品的完好无损；运输和贮存应注意防潮、防震、防晒等措施，以确保产品的质量不受影响。

YS/T 985-2014 硅抛光回收片标准的实施，有助于提高硅抛光回收片的质量和稳定性，保证半导体芯片制造过程的可靠性和稳定性，对于半导体产业的发展具有重要意义。

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