YS/T 917-2013
高纯镉化学分析方法 痕量杂质元素含量的测定 辉光放电质谱法
发布时间:2013-10-17 实施时间:2014-03-01
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高纯镉是一种重要的半导体材料,其纯度对器件性能有着重要的影响。因此,对高纯镉中痕量杂质元素含量的测定十分重要。本标准采用辉光放电质谱法进行测定,具有灵敏度高、准确度高、选择性好等优点。
1.范围
本标准适用于高纯镉中痕量杂质元素含量的测定。
2.仪器设备
本标准所需的仪器设备包括:辉光放电质谱仪、高纯氩气、高纯氧气、高纯氮气、高纯氦气、高纯氢气等。
3.试样制备
试样应当经过充分的研磨和清洗,以保证试样的纯度。
4.操作步骤
(1)将试样放入辉光放电质谱仪中,加入高纯氩气,进行预处理。
(2)加入高纯氧气,进行氧化处理。
(3)加入高纯氮气,进行稀释处理。
(4)加入高纯氦气或高纯氢气,进行激发放电。
(5)测定各元素的信号强度,并进行定量分析。
5.结果计算
根据测定结果,计算出各元素的含量,并进行数据处理和分析。
6.质量控制
在进行测定过程中,应当进行质量控制,确保测定结果的准确性和可靠性。
相关标准:
GB/T 6908-2017 高纯金属化学分析方法
GB/T 6909-2017 高纯金属化学分析方法 热原子吸收光谱法
GB/T 6910-2017 高纯金属化学分析方法 石墨炉原子吸收光谱法
GB/T 6911-2017 高纯金属化学分析方法 石墨炉原子荧光光谱法
GB/T 6912-2017 高纯金属化学分析方法 石墨炉原子发射光谱法