YS/T 1024-2015
溅射用钽靶材
发布时间:2015-04-30 实施时间:2015-10-01


钽靶材是一种重要的溅射材料,广泛应用于半导体、光电、信息存储、显示器件等领域。YS/T 1024-2015《溅射用钽靶材》是我国制定的一项行业标准,旨在规范钽靶材的生产和使用,提高产品质量和市场竞争力。

该标准对钽靶材的分类、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等方面进行了详细规定。其中,钽靶材的分类主要根据材料纯度和形状进行划分,分别为高纯度钽靶材和合金钽靶材,形状包括平板、圆盘、管材等。针对不同的分类,标准对其技术要求和试验方法也有所不同。

在技术要求方面,标准主要规定了钽靶材的化学成分、杂质含量、晶粒度、密度、表面质量、尺寸和形状等方面的要求。其中,钽靶材的化学成分应符合GB/T 3629.1-2008《钽及钽合金化学分析方法 第1部分:钽的测定》的要求,杂质含量应符合表1的规定。此外,标准还对钽靶材的表面质量和尺寸进行了详细的规定,以确保其在溅射过程中的稳定性和均匀性。

在试验方法方面,标准主要包括化学分析、杂质含量测定、晶粒度测定、密度测定、表面质量检验、尺寸和形状检验等方面的试验方法。这些试验方法旨在对钽靶材的质量进行全面、准确的检测,确保其符合标准要求。

在检验规则方面,标准主要规定了钽靶材的检验方法、检验标准和检验结果的判定等方面的规则。其中,针对不同的技术要求和试验方法,标准也有相应的检验规则。

在标志、包装、运输和贮存方面,标准也有详细的规定。钽靶材应在包装上标明产品名称、规格、批号、生产日期等信息,以便于追溯和管理。同时,钽靶材的包装、运输和贮存也应符合相关的标准和规定,以确保其在整个生产和使用过程中的质量和安全性。

相关标准:
GB/T 3629.1-2008 钽及钽合金化学分析方法 第1部分:钽的测定
GB/T 3629.2-2008 钽及钽合金化学分析方法 第2部分:杂质元素的测定
GB/T 3629.3-2008 钽及钽合金化学分析方法 第3部分:氧、氮、碳、硫的测定
GB/T 3629.4-2008 钽及钽合金化学分析方法 第4部分:铁、铜、铝、镍、钴、铬、锰、钛、锆、铌、钒、硅、磷、硼、钾、钙、钠、镁、银、金、铂、铑、钯、铱、钌、铼、锇、铂-铱合金、铂-铑合金、铂-钯合金、铂-铑-钯合金的测定
GB/T 3629.5-2008 钽及钽合金化学分析方法 第5部分:钽铌合金的测定