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工业镓是一种重要的半导体材料，广泛应用于电子、光电、航空航天等领域。然而，工业镓中的杂质元素会影响其性能和质量，因此需要对工业镓中的杂质元素进行测定。本标准规定了电感耦合等离子体质谱法测定工业镓中杂质元素的方法。

1.范围
本标准适用于工业镓中杂质元素的测定。

2.仪器和设备
2.1 电感耦合等离子体质谱仪
2.2 氢气和氮气
2.3 纯水
2.4 硝酸和氢氟酸

3.试剂和材料
3.1 标准物质
3.2 工业镓样品

4.操作步骤
4.1 样品的制备
将工业镓样品研磨成粉末，加入硝酸和氢氟酸混合液中，在加热的条件下进行消解，得到样品溶液。
4.2 仪器的设置
将电感耦合等离子体质谱仪设置为合适的条件，包括离子源温度、离子源气体流量、质谱分析器的扫描范围等。
4.3 样品的测定
将样品溶液注入电感耦合等离子体质谱仪中，进行测定。根据质谱分析器的扫描范围，可以得到样品中各种杂质元素的含量。

5.结果的计算和表达
根据测定结果，计算出样品中各种杂质元素的含量，并按照规定的格式进行表达。

6.质量控制
在测定过程中，应进行质量控制，包括使用标准物质进行校准、进行空白试验等。

相关标准：
GB/T 6908-2017 工业用镓氧化物
GB/T 6909-2017 工业用镓金属
GB/T 6910-2017 工业用镓碳化物
GB/T 6911-2017 工业用镓硅化物
GB/T 6912-2017 工业用镓化合物