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硅外延是一种重要的半导体材料，其质量直接影响到半导体器件的性能和可靠性。硅外延用三氯氢硅作为原料，其中含有其他氯硅烷，如四氯硅烷、二氯硅烷等，这些氯硅烷的含量对硅外延的质量也有很大的影响。因此，准确测定硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷的含量是非常重要的。

本标准采用气相色谱法测定硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷的含量。具体操作步骤如下：

1. 仪器和试剂准备

使用气相色谱仪进行测定，选择适当的色谱柱和检测器。试剂为纯度高的三氯氢硅和其他氯硅烷标准品。

2. 样品制备

将硅外延用三氯氢硅样品取出一定量，加入适量的甲苯，振荡混合，使样品充分溶解。

3. 气相色谱分析

将样品注入气相色谱仪，进行分析。根据其他氯硅烷的标准品进行定量分析。

4. 结果计算

根据气相色谱仪的输出结果，计算出其他氯硅烷的含量。

本标准的实施可以有效地保证硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷的含量测定的准确性和可靠性，对于保证硅外延的质量具有重要的意义。

相关标准：
GB/T 6908-2017 硅外延用三氯氢硅
GB/T 6909-2017 硅外延用三氯氢硅中杂质含量的测定 气相色谱法
GB/T 6910-2017 硅外延用三氯氢硅中氯化物含量的测定 气相色谱法
GB/T 6911-2017 硅外延用三氯氢硅中氟化物含量的测定 气相色谱法
GB/T 6912-2017 硅外延用三氯氢硅中氧化物含量的测定 气相色谱法