高纯四氯化锗是一种重要的半导体材料，其中微量的杂质元素会对其性能产生影响。因此，对高纯四氯化锗中的杂质元素进行准确测定具有重要意义。本标准采用电感耦合等离子体质谱法，可以快速、准确地测定高纯四氯化锗中的铜、锰、铬、钴、镍、钒、锌、铅、铁、镁、铟和砷等元素。

本标准适用于高纯四氯化锗中铜、锰、铬、钴、镍、钒、锌、铅、铁、镁、铟和砷的测定。样品的制备方法可以参考GB/T 20123-2006《高纯化学品中杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法》。

本标准中所涉及的术语和定义可以参考GB/T 6682-2008《化学分析试验室用水质量规范》。

本标准中所使用的仪器和设备应符合以下要求：

1. 电感耦合等离子体质谱仪应具有高分辨率、高灵敏度、低检出限等特点。

2. 气体供应系统应稳定可靠，气体纯度应符合要求。

3. 样品制备设备应具有高纯度、无污染等特点。

本标准中所使用的试剂应符合以下要求：

1. 电离气体应为高纯度氩气。

2. 样品溶液中的酸应为高纯度的硝酸。

3. 标准物质应为纯度高、稳定性好的物质。

本标准中所使用的方法包括样品制备、仪器操作、数据处理等步骤。具体操作方法可以参考YS/T 1165-2016标准原文。

相关标准
GB/T 20123-2006 高纯化学品中杂质元素的测定 电感耦合等离子体质谱法

GB/T 6682-2008 化学分析试验室用水质量规范

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