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磁性溅射靶材是一种用于制备薄膜的材料，其透磁率是影响薄膜性能的重要参数之一。为了保证薄膜的质量，需要对磁性溅射靶材的透磁率进行测试。本标准规定了磁性溅射靶材透磁率测试的方法，以保证测试结果的准确性和可靠性。

1.范围
本标准适用于磁性溅射靶材的透磁率测试。

2.测试原理
磁性溅射靶材的透磁率是指在磁场中，材料对磁通量的传导能力。测试时，将磁性溅射靶材置于磁场中，测量材料中的磁通量密度和磁场强度，通过计算得到透磁率。

3.测试仪器
3.1 磁场强度计
3.2 磁通量计
3.3 电流源
3.4 电压表
3.5 电流表

4.测试步骤
4.1 准备工作
4.1.1 校准磁场强度计和磁通量计。
4.1.2 将磁性溅射靶材置于磁场中心。
4.2 测量磁场强度
4.2.1 将电流源接入磁场线圈。
4.2.2 调节电流源输出电流，使磁场强度达到预定值。
4.2.3 使用磁场强度计测量磁场强度。
4.3 测量磁通量密度
4.3.1 将电压表和电流表接入磁性溅射靶材。
4.3.2 调节电流源输出电流，使磁通量密度达到预定值。
4.3.3 使用磁通量计测量磁通量密度。
4.4 计算透磁率
4.4.1 根据测量结果计算磁通量密度和磁场强度的比值。
4.4.2 根据比值计算磁性溅射靶材的透磁率。

5.测试结果的表示
测试结果应包括磁通量密度、磁场强度和透磁率等参数。

6.测试结果的分析
测试结果应与磁性溅射靶材的技术要求进行比较，判断是否符合要求。

相关标准：
GB/T 3879-2006 磁性材料透磁率的测量方法
GB/T 3878-2006 磁性材料磁滞回线的测量方法
GB/T 3877-2006 磁性材料磁性参数的测量方法
GB/T 3876-2006 磁性材料磁性特性的表示方法
GB/T 3875-2006 磁性材料磁性特性的测量方法