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钨钛合金靶材是一种用于物理蒸发沉积、磁控溅射等薄膜制备技术的重要材料。其具有高熔点、高密度、高硬度、高热稳定性等优良性能，被广泛应用于半导体、光电子、信息存储、显示器件等领域。为了保证钨钛合金靶材的质量和性能，国家制定了YS/T 1129-2016标准，对钨钛合金靶材的制造和检验进行了规范。

YS/T 1129-2016标准规定了钨钛合金靶材的化学成分、材料状态、外观质量、尺寸和形状、表面质量、机械性能、化学性能、热稳定性等技术要求。其中，化学成分要求钨的含量在70%~90%之间，钛的含量在10%~30%之间；材料状态要求为冷轧、热轧、锻造、挤压、粉末冶金等方式制备的钨钛合金靶材；外观质量要求表面光洁、无裂纹、无气孔、无夹杂等缺陷；尺寸和形状要求符合设计要求，允许一定的偏差；表面质量要求无明显划痕、氧化、污染等现象；机械性能要求硬度、抗拉强度、屈服强度、延伸率等指标符合标准要求；化学性能要求钨钛合金靶材在常温下稳定，不与空气、水等介质发生反应；热稳定性要求钨钛合金靶材在高温下稳定，不发生相变、脱钛等现象。

YS/T 1129-2016标准还规定了钨钛合金靶材的试验方法，包括化学成分分析、材料状态检验、外观质量检验、尺寸和形状检验、表面质量检验、机械性能试验、化学性能试验、热稳定性试验等内容。同时，标准还规定了钨钛合金靶材的检验规则和标志、包装、运输和贮存等要求，以确保钨钛合金靶材的质量和性能符合标准要求。

相关标准：
GB/T 3875-2006 金属材料拉伸试验方法
GB/T 8170-2008 数值圆整规则及限差
GB/T 10561-2005 金属材料压缩试验方法
GB/T 1299-2014 金属材料命名方法
GB/T 1804-2000 公称尺寸系列